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洛阳市开展国际科技合作抢占行业高端


发布日期:2005-08-17文章来源:【betway必威官网】 阅读次数:0

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近日,由betway必威亚洲官网和洛阳市科技局组织专家组对黎明化工研究院承担的“新型电子气体三氟化氮(NF3)技术开发”进行了验收。该项目由黎明院和美国Fluorochem公司合作开展,采用直接氟化法新工艺,成功地合成了新型电子蚀刻气体三氟化氮(NF3),填补了国内空白。

三氟化氮是近年来刚刚发展起来的一种新型电子材料,是信息产业中优良的等离子蚀刻和清洗气体,对硅等半导体材料,尤其是厚度小于1.5μm的集成电路材料,NF3比其它气体有更加优秀的蚀刻速度和选择性,而且对蚀刻表面无污染,市场应用前景广阔。黎明院于上世纪60年代就开始了电解制氟的科学研究,目前已经拥有国内最大的制氟量,达到12000吨/年。此次采取国际合作方式,利用先进的电解制氟工艺,开发氟气下游高端产品,可以丰富并优化该院的产品结构。目前该院合成NF3纯度已达到99.9%,超过科技计划任务书99.7%的指标,并达到美国APCI标准99.9%的要求。在此基础上,该院正进一步引进消化吸收和改进三氟化氮生产技术,有望在短时间内实现该氟化产品的产业化。这项通过国际科技合作攻克的技术难题,生产应用后将为洛阳电子材料产业抢占国内外高端市场,打下坚实的基础  .                                                            

                                                                                      

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